| Deputi | Ir. R. Sugeng Joko Sarwono, M.T., Ph.D. |
| Deputi Direktur Bidang Inkubasi dan Akselerasi Bisnis | Fathiro Hutama Reksa Putra, S.T., M.Sc., Ph.D. |
| Deputi Direktur Bidang Pengembangan Bisnis Kawasan | Melia Famiola, S.T.P., M.T., Ph.D. |
| Deputi Direktur Bidang Transfer Teknologi | |
| Kepala Subdirektorat Pengelolaan Aset dan Sistem Informasi | Daris Qodarisman Nasir, S.Pd.,M.Si. |
| Kepala Subdirektorat Keuangan | Riki Iskandar, A.Md., S.E., M.Ak. |
| Kepala Seksi Program Pelayanan dan Konsultasi | Yayat Mulyati, S.Pd., M.M. |
| Kepala Seksi Monitoring dan Evaluasi | Deasy Anisa Natalia Rahmawati, S.Si. |
| Kepala Seksi Pengelolaan Fasilitas dan Kawasan | Puji Astuti, A.Md. |
| Kepala Seksi Data dan Sistem Informasi | Jejen Samsul Aripin, S.T., M.Kom. |
| Kepala Seksi Anggaran dan Perbendaharaan | Irma Rosdiana, S.E. |
| Kepala Seksi Akuntansi dan Perpajakan | Aulia Rahim, A.Md. |
| Kepala Sekretariat | Dani Hermana, S.A.B. |